韓國產業通商資源部4月15日提出半導體產業成長計畫草案，其中包含大規模減稅措施和基礎設施擴大工程，以及建立半導體設備、材料和零件供應商的產業群集。

韓國副總理洪楠基（Hong Nam-ki）表示，稅收減免有兩種：研發減免及設備減免。韓國政府計畫修改相關法規，將晶片研發相關的稅收減免比例調高至20%-30%，小型企業甚至可以享有40%的稅收減免。根據韓媒報導，若按照40%的比例，三星購買EUV設備20台共約3兆韓元（約26億美元），可以獲得1.2兆韓元（約10億美元）的退稅。不過，目前這項政策仍舊面臨一些推行障礙，主要是韓國企劃財政部（Ministry of Economy and Finance）對調整後稅收減少表示擔憂，使得韓國國會內部意見分歧，預計要完成修法還需要更多時間進行協商。

而除了稅收減免外，韓國政府還打算免除晶片業者的企業稅，並解決長期人才短缺的問題。依目前來看，韓國半導體產業勞動力僅達到實際需求的五分之一，尤其是韓國小型晶圓廠（fabless）長期飽受人力短缺之苦。為解決半導體產業勞動力短缺的現況，政府已在首爾都會地區的大學設立半導體科系，以加強人才培育與輸出。

再者，韓國在非記憶體半導體方面發展相對弱勢，韓國政府於5月6日表示， 2021年將計畫成立一個規模達2,800億韓元，約2.48億美元的基金，專門用來研發晶片製造技術，以幫助韓國製造業者提高全球競爭力。